Елви Самир (GB)
Изобретатель Елви Самир (GB) является автором следующих патентов:
Высокояркостный источник эуф-излучения и способ генерации излучения из лазерной плазмы
Изобретение обеспечивает создание коммерчески доступного источника ЭУФ излучения для ЭУФ метрологии и актинической инспекции литографических ЭУФ масок. Реализуется за счет использования лазерной мишени в виде непрерывной струи жидкого лития (1), циркулирующего через зону взаимодействия по замкнутому контуру (9) посредством высокотемпературного насоса (11). Коллекторное зеркало (7) размещено снаруж...
2658314