PatentDB.ru — поиск по патентным документам

ВАН, Бенджамин (US)

Изобретатель ВАН, Бенджамин (US) является автором следующих патентов:

Способы, материалы и устройство для улучшения управляемости и эффективности послойных процессов

Способы, материалы и устройство для улучшения управляемости и эффективности послойных процессов

Изобретение относится к способу осаждения пленки на подложку. Проводят нанесение первого осадительного раствора, содержащего первый осаждаемый материал, на подложку с образованием первого монослоя упомянутого первого осаждаемого материала, нанесение промывочного раствора на первый монослой на время trinse с образованием промывочного слоя для удаления избыточного первого осаждаемого материала, при...

2659525