Баев Сергей Геннадьевич (RU)

Изобретение относится к области оптического приборостроения, а именно к лазерной микрообработке и может быть использовано для формирования микроканалов на поверхности подложек из стекла, кристаллов и полупроводниковых материалов при изготовлении оптических шкал, сеток, решеток и других устройств. Способ формирования микроканалов включает облучение поверхности подложки излучением лазера с фемтосеку...