Лебедев Сергей Валентинович (RU)
Изобретатель Лебедев Сергей Валентинович (RU) является автором следующих патентов:
![Способ герметизации мэмс устройств Способ герметизации мэмс устройств](https://img.patentdb.ru/i/200x200/97305e2b010c01eccbfd0f8cb424ea8c.jpg)
Способ герметизации мэмс устройств
Использование: для герметизации МЭМС устройств. Сущность изобретения заключается в том, что способ включает формирование в приборном слое изолирующих канавок глубиной до захороненного окисла, формирование на поверхности приборного слоя металла в зоне эвтектического сплава и на контактных площадках МЭМС-устройств, формирование на герметизирующей крышке соединяющих шин и обкладок емкостей на основе...
2662061