Панкратов Олег Вячеславович (RU)

Изобретение относится к области приборостроения и может применяться для изготовления микромеханических элементов, используемых, в частности, для подвеса чувствительных масс микромеханических измерительных устройств, например кремниевых гироскопов и акселерометров, микроигл и т.д. Изобретение обеспечивает снижение трудоемкости изготовления и повышение качества и точности воспроизведения микромехани...