PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Минжулина Екатерина Андреевна (RU)

Изобретатель Минжулина Екатерина Андреевна (RU) является автором следующих патентов:

Распылительный блок магнетрона для осаждения пленок твердых растворов fexti(1-x)o2 в диапазоне 0<x<0,6

Распылительный блок магнетрона для осаждения пленок твердых растворов fexti(1-x)o2 в диапазоне 0<x<0,6

Изобретение относится к распылительному блоку магнетрона для осаждения пленок твердых растворов FexTi(1-x)O2 в диапазоне 0<х<0,6 на поверхности металлов, стекол или керамики. Упомянутый блок содержит мишень и охлаждающую пластину, причем мишень и охлаждающая пластина размещены в реактивной среде, состоящей из плазмообразующего газа в виде аргона и химически активного газа в виде кислорода. М...

2664009