Федоров Георгий Евгеньевич (RU)
Изобретатель Федоров Георгий Евгеньевич (RU) является автором следующих патентов:
Способ изготовления матрицы детекторов тгц излучения на основе углеродных нанотрубок
Использование: для изготовления высокочувствительных приемников электромагнитного излучения терагерцевого диапазона. Сущность изобретения заключается в том, что массив чувствительных элементов формируется в процессе селективного травления однородной сетки УНТ с использованием литографической маски в виде массива прямоугольников размером 8*4 мкм2, сформированной в процессе фотолитографии. Техническ...
2667345