PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Газалиев Арсен Шахсенович (RU)

Изобретатель Газалиев Арсен Шахсенович (RU) является автором следующих патентов:

Способ изготовления матрицы детекторов тгц излучения на основе углеродных нанотрубок

Способ изготовления матрицы детекторов тгц излучения на основе углеродных нанотрубок

Использование: для изготовления высокочувствительных приемников электромагнитного излучения терагерцевого диапазона. Сущность изобретения заключается в том, что массив чувствительных элементов формируется в процессе селективного травления однородной сетки УНТ с использованием литографической маски в виде массива прямоугольников размером 8*4 мкм2, сформированной в процессе фотолитографии. Техническ...

2667345