Скворцов Ю.С. (RU)

 Система для интерферометрического измерения отклонения формы оптических поверхностей содержит источник излучения, светоделительный блок, устройство для изменения оптической длины хода луча, первый фильтр-конденсор, состоящий из конденсорной линзы, в фокальной плоскости которой установлена диафрагма, первый и второй светоделительные элементы, интерферометр, состоящий из контролируемой и эт...

Способ основан на направлении на контролируемую поверхность когерентного пучка лучей, помещении в ход лучей образцовой поверхности, формировании и регистрации интерферограммы разности хода лучей и ее дальнейшей обработки. При этом на контролируемую и на образцовую поверхности направляют второй когерентный пучок лучей и формируют вторую интерферограмму разности хода лучей, вводят в разность хода лу...

Сканирующий интерферометр для измерения отклонения формы оптических поверхностей содержит источник когерентного излучения, первый фильтр-конденсор, состоящий из конденсорной линзы, первый и второй светоделительные элементы, объектив, интерферометр, состоящий из эталонной и контролируемой поверхностей, устройство для изменения оптической длины хода луча, первую проекционную систему, регистрирующий...