Окшин А.А. (RU)

 Использование: в области микро- и наноэлектроники при производстве как полупроводниковых приборов и интегральных схем, так и приборов функциональной микроэлектроники. Сущность изобретения: способ изготовления полупроводникового прибора с управляющим электродом (затвором) нанометровой длины включает выделение на полупроводниковой подложке активной области прибора, формирование подзатворног...