Степанов И.Б. (RU)

 Изобретение относится к радиационному материаловедению и предназначено для изменения механических, химических, электрофизических свойств приповерхностных слоев металлов, сплавов, полупроводников, диэлектриков и других материалов путем нанесения покрытий или изменения состава поверхностных слоев ионной имплантацией. Плазму формируют непрерывным вакуумно-дуговым разрядом, затем из нее импул...

Изобретение относится к области спектрометрии заряженных частиц и может быть использовано для измерения зарядового и массового состава путем ускорения ионов, которое происходит в ускоряющем промежутке, формирующимся в вакуумной камере между входным торцом трубы дрейфа и плазмой при подаче на трубу дрейфа импульса напряжения отрицательной полярности и длительностью меньшей времени пролета в трубе д...