Монахов В.Н. (RU)

 Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в электронном приборостроении и микромеханике. Микронасос включает одну разрядную ячейку, состоящую из цилиндрического титанового анода и двух титановых катодов. По оси ячейки направлено магнитное поле. На первом катоде имеется конусный элемент, выступающий от его плоскости. На втором катоде смонтирована вставка. Конусный...