Кибалов Д.С. (RU)

 Использование: в способах и устройствах для формирования рисунков в виде волнообразного рельефа с периодом около 100 нм и менее. Сущность изобретения: способ формирования упорядоченной волнообразной наноструктуры предусматривает облучение GaAs потоком ионов молекулярного азота до формирования периодической волнообразной наноструктуры на поверхности GaAs с ориентацией гребней волн наностр...