PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Харитонов Д.Ю. (RU)

Изобретатель Харитонов Д.Ю. (RU) является автором следующих патентов:

Способ изготовления мембраны из оксида алюминия

Способ изготовления мембраны из оксида алюминия

 Изобретение относится к способам изготовления мембран из кристаллического оксида алюминия, используемых в микроэлектронных приборах. Способ включает предварительное изготовление алюминиевой пластины, соответствующей форме и размерам готовой мембраны. На одной из сторон пластины формируют слой, преимущественно состоящий из кристаллического оксида алюминия. Далее удаляют металлический алюми...

2242271