Гогиш-Клушин С.Ю. (RU)

 Изобретение относится к способам изготовления мембран из кристаллического оксида алюминия, используемых в микроэлектронных приборах. Способ включает предварительное изготовление алюминиевой пластины, соответствующей форме и размерам готовой мембраны. На одной из сторон пластины формируют слой, преимущественно состоящий из кристаллического оксида алюминия. Далее удаляют металлический алюми...