Кирьянов А.В. (RU)

 Способ измерения точности изготовления углоизмерительных структур, наносимых на прозрачный носитель, заключается в размещении на едином вращающемся валу двух прозрачных носителей с углоизмерительными структурами, из которых один - контролируемый, а другой - эталонный, формировании теневых изображений элементов топологии обоих структур, регистрирации с помощью фотоэлектрических преобразова...