Емельченко Г.А. (RU)

Изобретение относится к области туннельной и атомно-силовой микроскопии, а точнее к устройствам, обеспечивающим градуировку сканирующих зондовых микроскопов (СЗМ). Сущность изобретения заключается в том, что в тестовой структуре для градуировки СЗМ, состоящей из основания и расположенных на нем искусственных упорядоченных микроструктур с известными геометрическими параметрами, в качестве искусстве...