Чуриков А.А. (RU)

Использование: при производстве изделий микроэлектроники с применением субмикронной литографии, в частности для получения элементов структур субмикронных размеров на полупроводниковых и других подложках. Сущность изобретения: способ определения селективности силилирования пленок фоторезисторов, т.е. тестирование материала на ранней стадии на пригодность его для процесса силилирования, осуществляет...

Изобретение относится к теплофизике, в частности к теплофизическим измерениям. Термозонд содержит корпус и измерительную головку с теплоизоляционной подложкой. На подложке размещены нагреватель и основная термобатарея из дифференциально соединенных термопар. В подложке размещены вспомогательная термобатарея и дифференциальная термопара для контроля температурных градиентов внутри подложки. Кроме т...