Ооно Хиромото (JP)

Изобретение относится к области очистки перфторированных олефинов, конкретно к очистке гексафторбутадиена-1,3 (ГФБД), используемого как бифункциональный мономер, пригодный для получения и сшивки перфторированных эластомеров, агент сухого плазменного травления в производстве полупроводниковых изделий. Способ осуществляют путем низкотемпературной ректификации. Дополнительно проводят очистку на цеоли...