Голубев И.В. (RU)

Способ измерения профиля поверхности включает получение набора интерферограмм контролируемой поверхности при сканировании ее низкокогерентным источником излучение и восстановление по ним исходного профиля контролируемой поверхности. При этом с получением каждой основной интерферограммы снимают дополнительную интерферограмму при сдвиге опорной поверхности на дробную часть длины волны, после чего из...