Клочихин В.Л. (RU)

Изобретение относится к комплексной обработке природных и сточных вод, обеспечивающей одновременно ее очистку, обеззараживание, обезвреживание и дезодорацию, в частности, к электрохимическим способам обработки и может быть использовано для очистки высококонцентрированных промышленных сточных вод и также природных вод в малых системах водоснабжения, индивидуальных нужд и др. Обработку воды ведут в...

Использование: в производстве полупроводниковой микроэлектроники, в частности в технологии изготовления интегральных схем, удаления позитивного фоторезиста с поверхности подложки, электрохимического травления кремния, обезжиривания поверхности, а также в других областях промышленности, где необходима высокая степень чистоты поверхности. Техническим результатом изобретения является создание ресурсо...