Дулин С.А. (RU)

Изобретение относится к оптикоэлектронному приборостроению и предназначено для измерения и исследования тонкопленочных структур и оптических констант поверхностей различных материалов путем анализа поляризации отраженного образцом светового пучка. В спектральном эллипсометре, содержащем последовательно расположенные вдоль оптической оси источник излучения, коллимирующую оптику, поляризатор, анализ...