Парфенок М.А. (RU)

Использование: в устройствах для получения пучков ионов, предназначенных для обработки поверхностей изделий и нанесения на них покрытий. Техническим результатом изобретения является упрощение серийного производства источников пучка ионов, имеющих разные размеры, улучшение эксплуатационных показателей таких источников и расширение области их применения. Сущность изобретения: в источнике пучка ионов...