Телегин Александр Прокофьевич (UA)

Использование: в устройствах для получения пучков ионов, предназначенных для обработки поверхностей изделий и нанесения на них покрытий. Техническим результатом изобретения является упрощение серийного производства источников пучка ионов, имеющих разные размеры, улучшение эксплуатационных показателей таких источников и расширение области их применения. Сущность изобретения: в источнике пучка ионов...

Изобретение относится к узлу катода магнетронного распылителя и может быть использовано в машиностроении при изготовлении деталей с покрытием. Мишень имеет наружную сторону и внутреннюю сторону и выполнена, по меньшей мере, частично, из распыляемого материала. С внутренней стороны от мишени расположены теплоизолированные от нее магниты и, по меньшей мере, один, трубопровод для охлаждающей среды, и...