Черный Б.И. (RU)

Использование: в технологии получения микросборок интегральных схем, и в частности, микросборок методом перевернутого кристалла инфракрасных фотоприемных устройств, при помощи индиевых микросфер. Техническим результатом при использовании изобретения является уменьшение трудоемкости изготовления микросфер для сборки ИС. Сущность изобретения: в способе изготовления микросфер для сборки интегральных...