Михайлов Г.М. (RU)

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии. В многозондовом датчике консольного типа содержится основание, плоские гибкие консоли с управляющими приводами и кремниевыми зондами. Кремниевый зонд содержит пьедестал. Пьедестал выполнен в виде призмы, одной боковой гранью закрепленной на плоской гибкой консоли. Противоположная грань параллельна плоскости консоли. Основания образо...

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно к устройствам, обеспечивающим получение информации о поверхности образцов и модификацию поверхности образцов в туннельном и атомно-силовом режимах в сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ). Силовой зонд на основе кварцевого резонатора для сканирующего зондового микроскопа содержит кварцевый резонатор с иглой, закрепленной на плоскос...