Барт Вольфганг (DE)

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии. В многозондовом датчике консольного типа содержится основание, плоские гибкие консоли с управляющими приводами и кремниевыми зондами. Кремниевый зонд содержит пьедестал. Пьедестал выполнен в виде призмы, одной боковой гранью закрепленной на плоской гибкой консоли. Противоположная грань параллельна плоскости консоли. Основания образо...