БАБОНО Даниель (FR)
Изобретатель БАБОНО Даниель (FR) является автором следующих патентов:
Способ получения экстремального ультрафиолетового излучения и его источник, применение в литографии
Изобретение относится к производству экстремального ультрафиолетового излучения и к области литографии. Согласно изобретению используют по меньшей мере одну твердую мишень, излучающую экстремальное ультрафиолетовое излучение при взаимодействии с лазерным лучом, сфокусированным на обращенной к лазеру поверхности мишени. Эта мишень способна излучать часть излучения из второй поверхности, и эту часть...
2249926