Коноплев Б.Г. (RU)

Изобретение относится к области измерительной техники и интегральной электроники, а более конкретно - к интегральным измерительным элементам величины угловой скорости. Интегральный механический гироскоп содержит полупроводниковую подложку с расположенными на ней электродами емкостных преобразователей перемещений и электродами электростатических приводов, выполненных из полупроводникового материала...

Использование: изобретение относится к области вычислительной техники и интегральной электроники, а более конкретно - к интегральным полевым транзисторным структурам СБИС. Техническим результатом заявленного изобретения является повышение быстродействия транзистора за счет обеспечения высокой подвижности электронов в канале при высокой их концентрации, снижения скорости деградации характеристик тр...

Изобретение относится к области измерительной техники и интегральной электроники, а более конкретно - к интегральным измерительным элементам величины угловой скорости. Устройство содержит подложку с расположенными на ней электродами емкостных преобразователей перемещений, две инерционные массы, расположенные с зазором относительно подложки и выполненные в виде пластин из полупроводникового материа...