Лысенко И.Е. (RU)

Изобретение относится к области измерительной техники и интегральной электроники, а более конкретно - к интегральным измерительным элементам величины угловой скорости. Интегральный механический гироскоп содержит полупроводниковую подложку с расположенными на ней электродами емкостных преобразователей перемещений и электродами электростатических приводов, выполненных из полупроводникового материала...

Интегральное микромеханическое зеркало содержит подложку с расположенными на ней четырьмя электродами, четыре дополнительных электрода емкостных преобразователей перемещения, расположенные на подложке таким образом, что образуют с зеркальным элементом плоский конденсатор и одну дополнительную пластину крепления, расположенную под зеркальным элементом непосредственно на подложке. Также имеются торс...

Изобретение относится к области измерительной техники и интегральной электроники, а более конкретно - к интегральным измерительным элементам величины угловой скорости. Устройство содержит подложку с расположенными на ней электродами емкостных преобразователей перемещений, две инерционные массы, расположенные с зазором относительно подложки и выполненные в виде пластин из полупроводникового материа...