Тищенко И.А. (RU)

Изобретение относится к металлургической промышленности, в частности к способу производства трихлорсилана, и может быть использовано в производстве полупроводникового кремния. Технический кремний загружают в реактор и гидрохлорируют синтетическим хлористым водородом в кипящем слое. Полученный трихлорсилан смешивают с инертным газом, конденсируют в холодильниках, выдерживают полученный конденсат с...