Герасименко В.Ф. (RU)

Изобретение относится к получению сверхтвердых покрытий в вакууме, к способам формирования алмазоподобного покрытия и может быть использовано в электронной и эмиссионной технике, в качестве покрытий оптических деталей и в качестве декоративных покрытий. Способ включает установку подложки в разрядной камере, вакуумирование камеры, подачу углеродсодержащей газовой рабочей среды в камеру и создание в...