Голованов М.Н. (RU)

Использование: для производства компьютерных микросхем с помощью рентгенолитографии. Сущность: заключается в том, что множитель изображения рентгеношаблона включает источник рентгеновского излучения, состоящую из двух частей рентгеновскую линзу, пластину с рентгенорезистным слоем, рентгеношаблон. Рентгеношаблон установлен со смещением от оси призмы на одном из торцов полой трехгранной призмы с рен...