Малков А.Ю. (RU)

Использование: изобретение относится к неразрушающим способам диагностики структурного совершенства эпитаксиальных слоев кремния, выращенных на диэлектрических подложках, и может использоваться в технологии микроэлектроники для контроля качества приборных слоев в композиции типа “кремний на сапфире”. Технический результат: повышение чувствительности эллипсометрического контроля дефектности пленок...