PatentDB.ru — поиск по патентным документам

ВАН ДЕ САНДЕН Мауритиус Корнелиус Мария (NL)

Изобретатель ВАН ДЕ САНДЕН Мауритиус Корнелиус Мария (NL) является автором следующих патентов:

Способ и устройство для осаждения по меньшей мере частично кристаллического кремниевого слоя на подложку

Способ и устройство для осаждения по меньшей мере частично кристаллического кремниевого слоя на подложку

Изобретение относится к способу и устройству для осаждения по меньшей мере частично кристаллического кремниевого слоя на подложку и может быть использовано в различных отраслях машиностроения. Генерируют плазму и подложку подвергают воздействию кремнийсодержащей текучей среды-источника и вспомогательной текучей среды, обладающей способностью вытравливать некристаллически связанные атомы кремния. Н...

2258764