БЛОМБЕРГ Мартти (FI)

Сущность: датчик содержит, по меньшей мере, один фиксированный электрод (3) и, по меньшей мере, один подвижный электрод (6, 7), электрически изолированный и пространственно отделенный (10) от указанного электрода (3). Согласно изобретению часть подвижного электрода (6, 7) сформирована из пористого слоя (6) поликристаллического кремния, причем указанный слой в полностью собранном компоненте остаетс...