Сафаралиев Г.К. (RU)
Изобретатель Сафаралиев Г.К. (RU) является автором следующих патентов:
Способ получения эпитаксиальных слоев твердых растворов sic-aln
Изобретение относится к области технологии получения полупроводниковых тонких пленок многокомпонентных твердых растворов. Сущность изобретения: Способ получения эпитаксиальных слоев твердого раствора карбида кремния с нитридом алюминия SiC-AlN, включает осаждение твердого раствора на монокристаллическую подложку SiC-6Н при температуре 1000°С магнетронным ионно-плазменным распылением, осуще...
2260636