Баинов Д.Д. (RU)

Изобретения относятся к плазменной технике и предназначено для нанесения многослойных покрытий в виде тонких пленок из металлов, их оксидов, нитридов и других соединений, синтезированных в процессе плазмохимических реакций, на поверхность изделий из диэлектрических материалов. Устройство содержит магнетронную распылительную систему (МРС), систему питания МРС, систему напуска рабочего газа, вакуумн...