Юдаков С.В. (RU)
Изобретатель Юдаков С.В. (RU) является автором следующих патентов:
Устройство для нанесения многослойных токопроводящих покрытий на изделия из диэлектрических материалов и источник ионов для него
Изобретения относятся к плазменной технике и предназначено для нанесения многослойных покрытий в виде тонких пленок из металлов, их оксидов, нитридов и других соединений, синтезированных в процессе плазмохимических реакций, на поверхность изделий из диэлектрических материалов. Устройство содержит магнетронную распылительную систему (МРС), систему питания МРС, систему напуска рабочего газа, вакуумн...
2261289