Китаев И.В. (RU)

Использование: при изготовлении микромеханических приборов на твердом теле при групповой сборке микромеханических датчиков. Техническим результатом изобретения является обеспечение более высокого качества соединения и за счет этого повышение процента выхода годных соединяемых кристаллов. Сущность изобретения: приспособление для группового соединения микромеханических деталей содержит плоское основ...