Герловин Б.Я. (RU)

Способ основан на направлении на контролируемую поверхность когерентного пучка лучей, помещении в ход лучей образцовой поверхности, формировании и регистрации интерферограммы разности хода лучей и ее дальнейшей обработки. При этом на контролируемую и на образцовую поверхности направляют второй когерентный пучок лучей и формируют вторую интерферограмму разности хода лучей, вводят в разность хода лу...