Еремчук А.И. (RU)

Использование: в интегральной микроэлектронике при изготовлении полупроводниковых интегральных схем типа программируемых логических матриц, электрически программируемых постоянных запоминающих устройств. Сущность изобретения: способ изготовления программируемых элементов в составе ИС включает формирование на полупроводниковой подложке с элементами ИС первого слоя из материала на основе алюминия, п...