Кондрашевский В.П.

 Использование: аналитическое приборостроение, а именно способы получения газочувствительной пленки датчиков газа. Сущность изобретения: помещают подложку в реактор, производят предварительную откачку реактора, нагрев подложки до температуры 280-300oC, напуск в реактор смеси реактивных газов, состоящей из кислорода и тетраэтилолова. Устанавливая конкретное соотношение компонентов по объему...

 Использование: электронная техника, в процессах формирования пленочных элементов микроэлектронных устройств. Сущность изобретения: при формировании пленочных элементов на основе платины производят нанесение на подложку с бескислородным диэлектрическим покрытием металлооксидного адгезионного слоя и слоя платины, фотолитографическое выполнение конфигурации элементов. Адгезионный слой нанося...

 Изобретение относится к технологии электронной техники и может быть использовано при изготовлении электрорадиоизделий, входящих в состав устройств приема, передачи и обработки сигналов, а также датчиков параметров внешней среды. Технический результат: повышение выхода годных за счет снижения электрической неоднородности пленок. Сущность изобретения: в способе изготовления пленочных резист...