Зиновьев Д.В.

 Изобретение предназначено для прецизионных измерений температуры. Полупроводниковый терморезистор выполнен в виде монокристалического кремниевого резистора с контактами к нему. В в плане резистор имеет форму меандра. Он размещен в канавке, сформированной в подложке из высокоомного поликремния, и изолирован от нее слоем окисла кремния. Для снижения инерционности под всей площадью резистора...

 Использование: изобретение относится к полупроводниковой технике и предназначено для передачи электрического сигнала посредством тепловой энергии. Устройство обеспечивает высокую точность и стабильность работы при малой инерционности. Сущность изобретения: преобразователь состоит из терморезистора 1 и нагревателя 2 с контактными площадками 3 к ним. Терморезистор 1 и нагреватель 2 выполнен...

 Используется в производстве микроэлектронных приборов, повышает технологичность, надежность, быстродействие при предельном снижении габаритов и массы. Сущность: структура состоит из тонкого кристалла кремния, объем которого совпадает с объемом приборной области, контактных площадок и балочных выводов, которые могут быть изготовлены из неблагородных металлов - Cu, Ni, и др. 3 ил. Изобретен...

 Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, более конкретно - к микроприборам, в которых требуется поддержание заданной, повышенной по сравнению со средой температуры. Микронагреватель содержит резистор, токовводы и металлические контактные площадки. Резистор и токовводы выполнены из монокристаллической кремниевой фольги. Микронагреватель имеет форму полоски переменного сече...