Потапов Евгений Владимирович (RU)
Изобретатель Потапов Евгений Владимирович (RU) является автором следующих патентов:
Способ измерения высоты ступенек в произвольных многослойных структурах
Изобретение относится к оптической контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения высоты ступенек, полученных любым способом в однородном материале или в произвольной многослойной структуре. Сущность изобретения заключается в измерении эллипсометрических параметров отдельно для пучков света, отраженных от областей по обе стороны от ступеньки (с использованием для ступенек...
2270437