Смолин Валентин Константинович (RU)

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для производства микроэлектронных устройств и дискретных элементов. Технический результат: повышение выхода годных резисторов по параметрам точности за счет уменьшения влияния неконтролируемых дестабилизирующих факторов в процессе осаждения резистивных пленок. Сущность изобретения: в способе изготовления тонкопленочных резисторо...

Изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов и может быть использовано в технологии для очистки полупроводниковых структур от ростовых и технологических микродефектов. Технический результат: повышение эффективности геттерирующей обработки за счет снижения концентрации микродефектов в полупроводниковых структурах. Сущность изобретения: в способе геттерирующей обработки по...