ШАРТНЕР Карл-Хайнц (DE)

Использование: высокочастотный источник электронов может быть использован в качестве нейтрализатора ионов. Сущность изобретения: высокочастотный источник электронов содержит разрядное пространство, по меньшей мере, с одним газовпускным отверстием для ионизируемого газа и, по меньшей мере, одним экстракционным отверстием (16) для электронов. Разрядное пространство, по меньшей мере, частично окружен...