ЭЛЛИНГБОУ Альберт Р. (IE)
Изобретатель ЭЛЛИНГБОУ Альберт Р. (IE) является автором следующих патентов:
![Регулирование давления над полупроводниковой пластиной с целью локализации плазмы Регулирование давления над полупроводниковой пластиной с целью локализации плазмы](https://img.patentdb.ru/i/200x200/85d2f47514a02dde7f25d55188d65dcf.jpg)
Регулирование давления над полупроводниковой пластиной с целью локализации плазмы
Изобретение относится к технологическому оборудованию для изготовления полупроводниковых приборов. Камера плазменной обработки (200), обеспечивающая усовершенствование методики регулирования давления над полупроводниковой пластиной (206) представляет собой вакуумную камеру (212, 214, 216), соединенную с устройством для возбуждения и удержания плазмы. Частью этого устройства являются источник газа-...
2270492