Курнаев Валерий Александрович (RU)

Использование в области плазменных исследований и масс-спектрометрии. Сущность: устройство состоит из последовательно расположенных по направлению движения частиц ионизатора газовой смеси с ионно-оптической системой, масс-сепаратора со стигматической фокусировкой, твердотельного конвертора, электростатического анализатора и узла регистрации. Конвертор выполнен из ультратонкой алмазоподобной фольги...

Использование: для определения элементного состава и толщины поверхностной пленки твердого тела. Сущность: заключается в том, что выполняют измерение энергетических спектров ионов, отраженных и выбитых из поверхности твердого тела, при этом измеряют энергетические спектры непосредственно в процессе внешнего воздействия на поверхность твердого тела или сразу после него путем поочередного облучени...

Изобретение относится к способу определения толщины и контроля скорости эрозии и осаждения тонких слоев на обращенных к плазме элементах плазменных установок. В изобретении предусмотрено изготовление и помещение в плазменную установку мишеней из легкого и/или тяжелого элемента (например, вольфрам на боре или углерод на вольфраме) с заданной толщиной поверхностного слоя в те места установки, в кото...