Гриднева Елена Алексеевна (RU)

Использование в области плазменных исследований и масс-спектрометрии. Сущность: устройство состоит из последовательно расположенных по направлению движения частиц ионизатора газовой смеси с ионно-оптической системой, масс-сепаратора со стигматической фокусировкой, твердотельного конвертора, электростатического анализатора и узла регистрации. Конвертор выполнен из ультратонкой алмазоподобной фольги...

Изобретение относится к технологии производства приборов микро- и наноэлектроники, связанной с травлением и выращиванием структур на поверхности материалов, в т.ч. материалов из полупроводника или диэлектрика. Сущность изобретения: устройство для плазмохимической обработки материалов состоит из последовательно расположенных по направлению к центру системы и помещенных в высоковакуумную камеру диа...